网上配资歡迎您的到来!

歡迎訪問天添盈配资!
网上配资設備廠家

聯系我們

聯系人:宋先生
電 話:0515-8866-7898/0515-8866-7868
郵 箱:414522250@qq.com
网址:www.halxjy.com

地 址:江蘇省鹽城市鹽都區大縱湖鎮(義豐)工业園區
郵 編:224000

薄膜厚度的測量方法

您的當前位置: 首 頁 >> 新聞中心 >> 行业新聞

薄膜厚度的測量方法

發布日期:2017-02-24 作者:天添盈配资 點擊:

随着科技的進步和精密儀器的應用,网上配资設備廠家薄膜厚度測量方法有很多,按照測量的方式分可以分为兩類:直接測量與間接測量。直接測量指應用測量儀器,通過接觸(或光接觸)直接感應出薄膜的厚度。

直接法測量有:螺旋測微法、精密輪廓掃描法(台階法)、掃描電子顯微法(SEM);

間接測量指根據一定對應的物理關系,将相關的物理量经過計算轉化为薄膜的厚度,從而达到測量薄膜厚度的目的。

常見的間接法測量有:稱量法、電容法、電阻法、等厚幹涉法、變角幹涉法、橢圓偏振法。按照測量的原理可分为三類:稱量法、電学法、光学法。

常見的稱量法有:天平法、石英法、原子數測定法;

常見的電学法有:電阻法、電容法、渦流法;

常見的光学方法有:等厚幹涉法、變角幹涉法、光吸收法、橢圓偏振法。

下面簡單介紹三種:

1. 幹涉顯微鏡法

幹涉條紋間距Δ0,條紋移动Δ,台階高为t=(Δ/Δ0 )*0.5λ,測出Δ0 和Δ,即可,其中λ为單色光波長,如用白光,λ取 530nm。

18.jpg 

2. 稱重法

   如果薄膜面積A,密度ρ和質量m可以被精确測定的話,膜厚t就可以計算出来:

d=m/Aρ。

3 石英晶體振蕩器法

    廣泛應用于薄膜澱積過程中厚度的實時測量,主要應用于澱積速度,厚度的監測,還可以反過来(與電子技術結合)控制物質蒸發或濺射的速率,從而實現對于澱積過程的自动控制。

對于薄膜制造商而言,産品的厚度均勻性是最重要的指标之一,想要有效地控制材料厚度,厚度測試設備是必不可少的,但是具體要選擇哪一類測厚設備還需根據軟包材的種類、廠商對厚度均勻性的要求、以及設備的測試範圍等因素而定。


相關标簽:网上配资設備廠家

最近浏覽:

在線客服
分享